TFE BH3/4F - установки вакуумного магнетронного напыления
Установки вакуумного магнетронного напыления тонких пленок с горизонтальным расположением подложек и магнетронных источников. Установки этой серии позволяют распылять металлы, резистивные сплавы и диэлектрики из трёх либо четырёх источников.
R-серия инструментов АСО плёнок PICOSUN
Серия, имеющая уникальный дизайн с горячими стенками внутренней камеры, верхней подачей прекурсоров и конструкцию с двойной камерой, гарантирует напыление плёнок АСО высочайшего качества. Плёнки обладают превосходной однородностью даже на поверхностях со сверхсложными структурами, такими как образцы со сквозными порами, микроканавки со свехвысоким соотношением геометрических размеров и на наночастицах порошков.
Инструменты АСО плёнок PICOSUN P-300
Серия определяет новую эру АСО производств в промышленных масштабах, является полностью автоматизированным, оптимизировано для промышленных производств с возможностью объединения в кластеры.
PICOSUN P-1000 - промышленный инструмент АСО пленок пакетного типа
Инструмент АСО пленок пакетного типа PICOSUN P-1000 со сверхвысокими объемами обработки образцов ставит Picosun среди лидеров новой технологии. Реакционная камера P-1000 спроектирована таким образом, чтобы вместить пакеты подложек диаметром до 450 мм, а также большие листы стекла.
Вакуумный кластерный инструмент PICOPLATFORM 200
Вакуумный кластерный инструмент PICOPLATFORM™ 200 продолжает идею уникальной масштабируемости и модульности всех инструментов АСО PICOSUN™. Кластер состоит из нескольких отдельных реакционных камер для АСО, интегрированных вокруг центрального модуля загрузки и контроля, основанного на вакуумном роботизированном манипуляторе Brooks MX400.
Вакуумный кластерный инструмент PICOPLATFORM 300
Вакуумный кластерный инструмент PICOPLATFORM 300 предлагает непревзойденное качество процесса АСО, высокую производительность и уникальный принцип модульности с полностью стандартизированными автоматизированными решениями для производств в больших объемах.
PICOSUN P-1200 - промышленный инструмент АСО пленок пакетного типа
Установка атомно-слоевого осаждения Picosun P-1200 предназначена для обработки подложек больших размеров, в том числе из гибких материалов, и рассчитана на применение в крупносерийном промышленном производстве. Установка Picosun P-1200 имеет инновационную модульную конструкцию, обеспечивает максимальную производительность, минимальное время простоя, низкую стоимость владения и высочайшее качество тонких плёнок с превосходной однородностью.
Osiris CHEMIXX 30pm - установка отмывки пластин
Установка предназначена для отмывки полупроводниковых пластин диаметром до 300 мм, подложек и фотошаблонов размером до 9” x 9”, с использованием растворителей, мегазвука и механической очистки щёткой
ABM/6/350/NUV/MR - система репликации маски
Система репликации маски включает в себя источник излучения (ближний и дальний УФ), источник питания и ручной либо автоматический контроллер экспозиции. Этот продукт в основном сосредоточен на процессе единичной литографии с высокой производительностью при низкой стоимости решения.
