Современные решения для производства электроники

Apogee Bake Plate - установка сушки фоторезиста

Apogee Bake Plate

Установка сушки фоторезиста Apogee Bake Plate позволяет обрабатывать пластины диаметром до 200 мм. Опционально доступны различные функции, такие как программируемая настройка зазора между нагревательной плитой и пластиной, автоматическая подстройка зоны нагрева к размеру пластин и продувка рабочей камеры азотом.

Основные преимущества:

— Компактный дизайн для настольного применения

— Цветной сенсорный дисплей, удобный графический интерфейс пользователя

— Три метода сушки: контактный, вакуумный, с зазором

— Технология DataStream для управления устройством в режиме реального времени

Технические характеристики:

Размеры пластин/подложек

До 200 мм для круглых подложек;

До 203 х 203 мм для квадратных подложек

Диапазон рабочих температур

От комнатной до 300 °С (опционально до 400 °С)

Разрешение

0,1 °С

Температурная однородность

0,3 %  (по рабочей области)

Длительность шага в технологическом рецепте

0,1 ÷ 9999,9 с

Диапазон настройки высоты

От 0 до 13 мм с шагом 0,1 мм

Программное обеспечение

Информация о процессе в режиме реального времени,

контроль состояния системы,

запись температурных данных,

создание и хранение виртуально неограниченного количества рецептов,

программируемая вытяжка

Габаритные размеры

337 х 483 х 305 мм

Вес

30 кг

 

Оборудование для работы с фоторезистом

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Жидкостная обработка