Современные решения для производства электроники

GIGAbatch 360 P / 380 P - установки плазменного травления фоторезиста

GIGAbatch 360 P / 380 P

Установки плазменного травления GIGAbatch 360 Р / 380 Р – это высокопроизводительные модели для удаления фоторезиста после высокодозной ионной имплантации или сухого травления в производстве полупроводниковых приборов. Подходят для пластин различных материалов, таких как кремний, соединения III/V, кварц, керамика, ниобат лития и др.  Модели 360 Р/ 380 Р опционально оснащаются моторизованным загрузочным шлюзом для автоматической подачи подложек в рабочую камеру.  Соответствуют условиям чистых помещений для полупроводникового производства.

Микроволновая плазма обеспечивает высокую концентрацию химически активных частиц с низкой энергией ионной бомбардировки, что гарантирует высокую скорость травления и отсутствие повреждений.

Контроль процесса производится в режиме реального времени, с отображением графиков рисунков на экране; производится запись и экспорт данных о процессе. Для управления системой служат ПК контроллер и цветной монитор 10.4”; операционная система реального времени QNX.  В системе имеется функция запоминания процессов (1−10 шагов каждый), сообщения об ошибках и системные предупреждения, пользовательский пароль.

Технические характеристики:

Модель

360 Р

380 Р

Размеры пластин

До 150 мм

До 200 мм

Производительность

150 пластин/час

Вместимость камеры

75 пластин

Загрузка пластин

Ручная, опционально автоматическая

Материал рабочей камеры

Кварц

Размеры камеры

(Диаметр х Глубина)

245 х 395 мм

300 х 395 мм

Объем

18 л

28 л

Частота плазменного источника

2.45 ГГц

Мощность плазменного источника

До 1000 Вт

Подача рабочего газа

2 газовые линии (опционально до 4−х)

Вакуумный датчик

               Емкостной манометр MKS Baratron 

Контроль температуры

ИК-сенсор

Детектор конечной точки

Оптический

Управление

ПК с монитором 10,4”;

Контроль параметров в режиме реального времени; отображение графиков; запись и хранение рецептов; экспорт данных; сообщения об ошибках и предупреждения

Системные оповещения

Световая колонна (три цвета), звук

Опции

Вакуумный насос; опция подачи водорода; блок автоматической загрузки пластин/подложек; дополнительные газовые линии

Габаритные размеры (Д х В х Ш)

795 х 1540 х 710 мм

Вес

190 кг

Немецкая компания PVA TePla AG специализируется на производстве плазменного и вакуумного оборудования

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Плазменное удаление фоторезиста