Современные решения для производства электроники


PVA Tepla

PVA Tepla — Системы плазменной обработки поверхностей

Немецкая компания PVA TePla AG является одним из ведущих производителей оборудования, где применяются высокотемпера-турные, вакуумные и плазменные процессы. Для микроэлектронной индустрии компания производит системы для выращивания кристаллов, плазменной очистки полупроводниковых пластин, травления фоторезиста, предварительной обработки корпусов перед операциями микросборки и разварки проволочных выводов.

Модельный ряд PVA Tepla

GIGAbatch 310 M - установка плазменного травления фоторезиста
Установка предназначена для удаления фоторезиста с пластин и подложек размером до 150 мм
GIGAbatch 360 P / 380 P - установки плазменного травления фоторезиста
Установки предназначены для удаления фоторезиста с пластин и подложек размером до 150 мм/200 мм
IoN40 - Система плазменной обработки
Система плазменной обработки IoN40 представляет собой одну из последних разработок компании PVA TeРla. Модель IoN40 оснащена высокочастотным плазменным источником, улучшенной системой контроля процесса, звуковым оповещением для предотвращения ошибок в работе системы, имеет компактный дизайн для настольного применения.
GIGA 690 - Система плазменной обработки
Система плазменной обработки GIGA 690 позволяет проводить очистку поверхностей плазмой низкого давления и используется для обработки корпусов кристаллов перед проведением процессов микросборки, разварки выводных контактов и герметизации. Благодаря использованию микроволн система GIGA 690 обеспечивает быструю и качественную очистку поверхностей без повреждений.
Другие производители