GIGA 690 - Система плазменной обработки
Система плазменной обработки GIGA 690 позволяет проводить очистку поверхностей плазмой низкого давления и используется для обработки корпусов кристаллов перед проведением процессов микросборки, разварки выводных контактов и герметизации. Благодаря использованию микроволн система GIGA 690 обеспечивает быструю и качественную очистку поверхностей без повреждений.
Модель GIGA 690 легко управляема в автоматическом и ручном режимах, имеет удобное программное обеспечение, которое соответствует международным стандартам SEMI.
Основные применения модели GIGA 690:
- Обработка поверхности для улучшения качества сварки
- Очистка поверхностей для улучшения процесса микросборки
- Обработка поверхностей для повышения качества герметизации
- Очистка поверхностей для повышения адгезии
Контроль процесса производится в режиме реального времени, с отображением графиков рисунков на экране; производится запись и экспорт данных о процессе.
Для управления системой служат ПК контроллер и цветной сенсорный монитор 10.4”; операционная система реального времени QNX. В системе имеется функция запоминания процессов, сообщения об ошибках и системные предупреждения, пользовательский пароль.
Основные характеристики:
Рабочая камера |
Материал |
Алюминий |
Объем |
91 л |
|
Внутренние размеры |
450х450х450 мм |
|
Вакуумная система |
Подача рабочего газа |
2 газовые линии, с MFC |
Базовое давление |
Около 0.02 мбар |
|
Рабочее давление |
0.2−2 мбар |
|
Измеритель вакуума |
0.01−10 мбар |
|
Подключение вакуума |
DN ISO K |
|
Плазменный источник |
Частота |
2.45 ГГц |
Мощность |
0−1000 Вт |
|
Характеристики производительности |
Время беспрерывной работы |
Более 95% |
Время наработки на отказ |
Более 500 ч |
|
Среднее время устранения неисправности |
Менее 2 ч |
|
Интерфейсы |
В базовом варианте |
USB, Ethernet, RS232 |
Опционально |
SMEMA 1.2 или SECS |
|
Требуемые подключения |
Электропитание |
230 В, 1 ф., 15 А, 50−60 Гц |
Рабочий газ |
¼ “разъем Swagelok |
|
Вентиляция/продувка |
1−2 бар |
|
Сжатый воздух |
FESTO DN 6, 4−6 бар |
|
Габаритные размеры (Д х В х Ш) |
1050 х 1750 х 800 мм |
|
Вес (без насоса) |
195 кг |
Доступные опции для системы GIGA 690:
- Две дополнительные газовые линии (в сумме до 4−х)
- Алюминиевая вращающаяся платформа Ø 400 мм
- Вакуумная система: роторный пластинчатый насос / Комбинация роторного насоса и насоса Рутса
- Установка на ролики
- Навесная дверь / Слайдерная дверь