Современные решения для производства электроники

DA - установки двустороннего совмещения и экспонирования

Достоинства моделей серии DA:

  • Оптика высокого разрешения
  • Рабочий столик для точного совмещения
  • Двустороннее совмещение
  • Компенсация ошибки клина
  • Управление с помощью ПЛК
  • Возможность точного задания зазора
  • Надежность и стабильность

Технические характеристики моделей серии DА:

УФ источник

350 Вт, длина волны: 350 – 450 нм;

Интенсивность: 15−25 мВт/см2 ;

Область однородного излучения: 100 мм x 100 мм ;

Однородность излучения: ±3% ;

Угол расхождения: < 2.0 градуса

Система совмещения

Верхний микроскоп: увеличение: 50х – 300х;

Два цветных монитора 19’’; LED коаксиальная подсветка;

Перемещение линз по осям X, Y, Z: 20 мм; точность совмещения : 1 мкм

Нижний микроскоп: увеличение: 50х – 300х;

LED коаксиальная подсветка;

Перемещение линз по осям X, Y, Z: 10 мм; точность совмещения : 2 мкм

Рабочий столик

Компенсация ошибки клина

Настройка по осям X, Y, Z и углу поворота θ в диапазонах: X, Y, Z: 10 мм, θ : 3 градуса;

Точность: 1 мкм;

Регулируемый зазор: 0 – 3 мм;

Режимы экспонирования: контактный и с зазором

Интерфейс

Управление с помощью ПЛК;

Время экспонирования: до 999.9 с;

Быстрая смена фотошаблона;

Кнопка аварийного выключения

Антивибрационный стол

Ш900 х Г700 х В750 мм

Опции

Воздушный компрессор, вакуумный насос, держатель кусочков пластин, УФ лампа мощностью 500 Вт



Производитель зондовых станций и оборудования для экспонированияи и совмещения

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Фотолитография