DA - установки двустороннего совмещения и экспонирования
Достоинства моделей серии DA:
- Оптика высокого разрешения
- Рабочий столик для точного совмещения
- Двустороннее совмещение
- Компенсация ошибки клина
- Управление с помощью ПЛК
- Возможность точного задания зазора
- Надежность и стабильность
Технические характеристики моделей серии DА:
УФ источник |
350 Вт, длина волны: 350 – 450 нм; Интенсивность: 15−25 мВт/см2 ; Область однородного излучения: 100 мм x 100 мм ; Однородность излучения: ±3% ; Угол расхождения: < 2.0 градуса |
Система совмещения |
Верхний микроскоп: увеличение: 50х – 300х; Два цветных монитора 19’’; LED коаксиальная подсветка; Перемещение линз по осям X, Y, Z: 20 мм; точность совмещения : 1 мкм Нижний микроскоп: увеличение: 50х – 300х; LED коаксиальная подсветка; Перемещение линз по осям X, Y, Z: 10 мм; точность совмещения : 2 мкм |
Рабочий столик |
Компенсация ошибки клина Настройка по осям X, Y, Z и углу поворота θ в диапазонах: X, Y, Z: 10 мм, θ : 3 градуса; Точность: 1 мкм; Регулируемый зазор: 0 – 3 мм; Режимы экспонирования: контактный и с зазором |
Интерфейс |
Управление с помощью ПЛК; Время экспонирования: до 999.9 с; Быстрая смена фотошаблона; Кнопка аварийного выключения |
Антивибрационный стол |
Ш900 х Г700 х В750 мм |
Опции |
Воздушный компрессор, вакуумный насос, держатель кусочков пластин, УФ лампа мощностью 500 Вт |