MA - ручные установки совмещения и экспонирования
Серия MA
— это серия ручных установок совмещения и экспонирования для
контактной литографии.
Достоинства моделей серии MA:
- Оптика высокого разрешения
- Рабочий столик для точного совмещения
- Компенсация ошибки клина
- Управление с помощью ПЛК
- Возможность точного задания зазора
- Надежность и стабильность
Технические характеристики моделей серии МА:
|
УФ источник |
200 — 2000 Вт, длина волны: 365 нм; Интенсивность:25−30 мВт/см2 ; Область однородного излучения: 100 мм x 100 мм — 200х200 мм ; Однородность излучения: ±5% ; Угол расхождения: < 2.5 градуса |
|
Система совмещения |
ССD камера (опционально возможно двустороннее совмещение); увеличение: 50х – 300х; Цветной монитор LCD; LED коаксиальная подсветка; Перемещение по осям X, Y, Z: 20 мм; быстрое перемещение по осям X, Y: 100 мм |
|
Рабочий столик |
Компенсация ошибки клина Держатель фотошаблонов: 4−9" (другие размеры — по запросу) Настройка по осям X, Y, Z и углу поворота θ в диапазонах: X, Y: 10 мм, θ : 3 градуса; Точность: 1 мкм; Режимы экспонирования: контактный и с зазором (0−5 мм) |
|
Интерфейс |
Ручное управление; Время экспонирования: до 999.9 с; Быстрая смена фотошаблона; Кнопка аварийного выключения |
|
Опции |
Антивибрационный стол, воздушный компрессор, вакуумный насос, держатель кусочков пластин |
