Современные решения для производства электроники

ORBIS ALPHA AURIX - установка осаждения органических пленок из газовой фазы

ORBIS ALPHA AURIX

Установка Orbis Alpha AURIX предназначена для осаждения самособирающихся органических пленок (SAM, Self Assembled Monolayers). Типичной областью применения является производство МЭМС (снижения трения и в подвижных частях, предотвращение залипания), микрофлюидных систем (предотвращения адсорбции органических молекул в каналах), а также улучшение адгезии полимеров на поверхности полупроводниковых материалов и другие применения. Установка состоит из базовой платформы Orbis Alpha и модуля AURIX.

Orbis Alpha является лабораторной платформой, предназначенной для использования в исследовательских разработках. Платформа обеспечивает доступ к технологии производства МЭМС при минимальных затратах. Загрузка изделий происходит вручную. Модуль AURIX предназначен для осаждения SAM.

Основные особенности и преимущества:

  • Точный контроль параметров процесса
  • Экономичное решение для исследовательских разработок
  • Управление с помощью ПК и сенсорного экрана
  • Удобный и интуитивно понятный интерфейс

Технические характеристики:

Размер пластин и подложек:

до 200 мм

Загрузка

1 пластина/цикл

Нагрев образцов

До 200°С

Нагрев стенок камеры

пассивный

Удалённый источник плазмы

13,56 МГц

Газовые линии

Линии прекурсоров -2 шт.

Линия инертного газа – 1 шт.

Управление

ПК под управлением ОС Windows, сенсорный экран

keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Осаждение органических пленок (MVD)