Современные решения для производства электроники

Apogee Mechanical Debonder - установка механического демонтажа пластин

Apogee Mechanical Debonder

Установка Apogee Mechanical Debonder предназначена для демонтажа/снятия пластин с пластины-носителя. Позволяет работать с пластинами широкого диапазона материалов, толщин и диаметров.

 

 Основные преимущества:

- Демонтаж ультратонких пластин без повреждений

- Минимальные механические нагрузки, отсутствие температурных воздействий

- Малое время цикла (менее 1 минуты)

- Технология DataStream для управления устройством в режиме реального времени

 

Технические характеристики:

Диаметр пластин

От 50 до 300 мм

Материал пластин

SiC, GaN, GaAs, InP, сапфир, кремний, стекло

Рабочая температура

Комнатная

Диапазон усилий

От 0 до 100 Н

Шаг настройки усилия

10 Н

Производительность

до 20 пластин/час (зависит от процесса)

Программное обеспечение

Информация о процессе в режиме реального времени,

создание и хранение неограниченного количества технологических рецептов,

контроль температуры и влажности,

визуализация и экспорт данных,

анализ нескольких процессов для выбора наиболее оптимального

Габаритные размеры

635 х 914 х 1842 мм

Вес

153 кг

 

Оборудование для работы с фоторезистом

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Сращивание пластин