АТ410/АТ610 - настольная установка атомно-слоевого осаждения

Настольные системы атомно-слоевого осаждения АТ410/АТ610 обеспечивают высокое аспектное отношение и однородность получаемых пленок, благодаря возможности точного введения заданного объема прекурсора. Управление осуществляется с помощью 7’’ сенсорного экрана.

Преимущества моделей АТ410/АТ610:

• Подходит для образцов диаметром 100 мм (модель АТ410) и для образцов с размерами до 150х150 мм (модель АТ610)
• Нагрев до 315ºС +- 1 ºС (модель АТ410) и до 300ºС +- 1 ºС ( модель АТ610)
• Давление в камере: от 0.1 до 1 торр
• Металлические уплотнители
• Компактный дизайн, подходит для применения в чистых помещениях
• Малое время цикла: до 6 циклов/мин или осаждение пленки Al₂O₃ 0,7 нм/мин
• Подходит для небольших объемов прекурсора
• В системе реализованы различные блокировки для безопасности оператора