R-серия инструментов АСО PICOSUN, имеющая уникальный дизайн с горячими
стенками внутренней камеры, верхней подачей прекурсоров и конструкцию с двойной
камерой, гарантирует напыление плёнок АСО высочайшего качества. Плёнки обладают
превосходной однородностью даже на поверхностях со сверхсложными структурами,
такими как образцы со сквозными порами, микроканавки со свехвысоким
соотношением геометрических размеров и на наночастицах порошков.
Высокофункциональные и легкозаменяемые системы источников прекурсоров для
работы с жидкими, газообразными и твердыми химикатами позволяют осаждать
материалы самого широкого диапазона (с отсутствием примесных частиц) на
подложках, трехмерных объектах и структурах, имеющих особенности на
нанометровых масштабах.
