Современные решения для производства электроники

Вакуумный кластерный инструмент PICOPLATFORM 200

Вакуумный кластерный инструмент PICOPLATFORM 200

Вакуумный кластерный инструмент PICOPLATFORM™ 200 продолжает идею уникальной масштабируемости и модульности всех инструментов АСО PICOSUN™. Кластер состоит из нескольких отдельных реакционных камер для АСО, интегрированных вокруг центрального модуля загрузки и контроля, основанного на вакуумном роботизированном манипуляторе Brooks MX400.

Кластер PICOPLATFORM 200 может быть оборудован загрузочным шлюзом для работы с одиночными подложками или автоматизированным покассетным загрузчиком, не нарушая при этом вакуумирование реакционных камер АСО. Также возможно подключение кластера к модулям, осуществляющим другие технологические процессы осаждения, и к системам предварительной обработки и постобработки.


Видео Вакуумный кластерный инструмент PICOPLATFORM 200
Кластерная установка Picosun PICOPLATFORM с вакуумной камерой с поворотным механизмом
Кластерное оборудование Picosun PICOPLATFORM
Оборудование для нанесения тонких пленок

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Атомно-слоевое осаждение (ALD)