Инструменты АСО плёнок PICOSUN P-300

Серия PICOSUN  Р-300 определяет новую эру АСО производств в промышленных масштабах. Оборудование серии PICOSUN Р-300 является полностью автоматизированным, оптимизировано для промышленных производств с возможностью объединения в кластеры.

Позволяет обрабатывать сотни подложек в час без нарушения самых строгих стандартов промышленного качества и воспроизводимости. Получены превосходные показатели однородности плёнок в пакетных процессах (стандартное отклонение толщины < 1 % для пленок Al2O3 на кремниевых подложках до 300 мм) и уровень примесных частиц до 1−2 частиц (>70 nm) на подложке. Наша поддержка АСО процессов гарантирует плавную оптимизацию процессов и интеграцию в демонстрационную фазу и фазу увеличения производства.