Настольная установка проявления фоторезиста
Установка проявления фоторезиста подходит для образцов различных размеров и различной формы. Обеспечивает высокую однородность нанесения проявителя на пластины и подложки.
Преимущества модели:
- Различные типы насадок (цилиндрические/веерообразные)
- Подходит для круглых и прямоугольных пластин и подложек
- Вакуумная или механическая фиксация образцов
- Отдельные линии для подачи проявителя и очищающего раствора
- Азотная продувка для подсушивания образцов
Технические характеристики модели:
|
Размеры образцов |
до 6” |
|
Скорость вращения шпинделя |
До 2000 об/мин |
|
Линии подачи жидкостей |
2 шт. |
Промышленные системы хранения материалов и элементов