Современные решения для производства электроники

Apogee Spin Developer/Cleaner - установка проявления фоторезиста

Apogee Spin Developer/Cleaner

Установка проявления фоторезиста Apogee Spin Developer/Cleaner позволяет обрабатывать пластины диаметром до 200 мм. Опционально доступны различные функции, такие как двусторонняя промывка пластин деионизованной водой, продувка камеры азотом, нагрев резервуара с проявителем, нанесение спрея под различным углом.

Основные преимущества:

— Компактный дизайн для настольного применения

— Цветной сенсорный дисплей, удобный графический интерфейс пользователя

— Коррозионностойкое исполнение

— Возможность непрерывной двойной подачи проявителя (струя или спрей)

— Технология DataStream для управления устройством в режиме реального времени

Технические характеристики:

Размеры пластин/подложек

До 200 мм для круглых подложек;

До 178 х 178 мм для квадратных подложек

Скорость вращения центрифуги

0 ÷ 6000 оборотов в минуту

(опционально до 12000 об/мин)

Ускорение вращения

от 0 до 30000 оборотов в минуту/сек без загрузки 

Длительность шага в технологическом рецепте

0,1 ÷ 9999,9 с

Повторяемость и разрешение по скорости

< 0,2 оборотов в минуту

Программное обеспечение

Информация о процессе в режиме реального времени,

создание и хранение неограниченного количества технологических рецептов,

контроль температуры и влажности,

визуализация и экспорт данных,

анализ нескольких процессов для выбора наиболее оптимального

Габаритные размеры

337 х 483 х 458 мм

Вес

21 кг

 

Оборудование для работы с фоторезистом

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Жидкостная обработка