Apogee Spin Developer/Cleaner - установка проявления фоторезиста
Установка проявления фоторезиста Apogee Spin Developer/Cleaner позволяет обрабатывать пластины диаметром до 200 мм. Опционально доступны различные функции, такие как двусторонняя промывка пластин деионизованной водой, продувка камеры азотом, нагрев резервуара с проявителем, нанесение спрея под различным углом.
Основные преимущества:
— Компактный дизайн для настольного применения
— Цветной сенсорный дисплей, удобный графический интерфейс пользователя
— Коррозионностойкое исполнение
— Возможность непрерывной двойной подачи проявителя (струя или спрей)
— Технология DataStream для управления устройством в режиме реального времени
Технические характеристики:
|
Размеры пластин/подложек |
До 200 мм для круглых подложек; До 178 х 178 мм для квадратных подложек |
|
Скорость вращения центрифуги |
0 ÷ 6000 оборотов в минуту (опционально до 12000 об/мин) |
|
Ускорение вращения |
от 0 до 30000 оборотов в минуту/сек без загрузки |
|
Длительность шага в технологическом рецепте |
0,1 ÷ 9999,9 с |
|
Повторяемость и разрешение по скорости |
< 0,2 оборотов в минуту |
|
Программное обеспечение |
Информация о процессе в режиме реального времени, создание и хранение неограниченного количества технологических рецептов, контроль температуры и влажности, визуализация и экспорт данных, анализ нескольких процессов для выбора наиболее оптимального |
|
Габаритные размеры |
337 х 483 х 458 мм |
|
Вес |
21 кг |
