Современные решения для производства электроники


CEE

Компания CEE (Cost Effective Equipment) уже более 30 лет занимается разработкой и производством лабораторного оборудования для обработки полупроводниковых пластин. За это время было продано несколько тысяч установок по всему миру для проведения исследовательских, тестовых работ и для мелкосерийного производства. Линейка оборудования фирмы СЕЕ включает в себя установки нанесения, проявления и сушки фоторезиста, установки временного монтажа и демонтажа пластин, установку очистки пластин. Все модели отличаются высоким качеством, надежностью исполнения, имеют широкий набор доступных опций и аксессуаров.

Модельный ряд CEE

Apogee Bonder - установка монтажа пластин на пластину-носитель
Установка Apogee Bonder предназначена для временного монтажа пластин диаметром до 300 мм на пластину-носитель.
Apogee Mechanical Debonder - установка механического демонтажа пластин
Установка Apogee Mechanical Debonder предназначена для демонтажа/снятия пластин с пластины-носителя.
CEE 300MXD - установка жидкостной обработки с мегазвуком
Установка предназначена для обработки полупроводниковых пластин и с применением мегазвукового воздействия.
Apogee Bake Plate - установка сушки фоторезиста
Установка Apogee Bake Plate предназначена для сушки фоторезиста на пластинах диаметром до 200 мм.
Apogee Spin Coater - установка нанесения фоторезиста методом центрифугирования
Установка Apogee Spin Coater предназначена для нанесения фоторезистивных покрытий методом центрифугирования на пластины диаметром до 200 мм.
Apogee Spin Developer/Cleaner - установка проявления фоторезиста
Установка Apogee Spin Developer/Cleaner предназначена для проявления фоторезиста на пластинах диаметром до 200 мм.
Другие производители