Apogee Bake Plate - установка сушки фоторезиста

Установка сушки фоторезиста Apogee Bake Plate позволяет обрабатывать пластины диаметром до 200 мм. Опционально доступны различные функции, такие как программируемая настройка зазора между нагревательной плитой и пластиной, автоматическая подстройка зоны нагрева к размеру пластин и продувка рабочей камеры азотом.

Основные преимущества:

— Компактный дизайн для настольного применения

— Цветной сенсорный дисплей, удобный графический интерфейс пользователя

— Три метода сушки: контактный, вакуумный, с зазором

— Технология DataStream для управления устройством в режиме реального времени

Технические характеристики:

Размеры пластин/подложек	До 200 мм для круглых подложек; До 203 х 203 мм для квадратных подложек
Диапазон рабочих температур	От комнатной до 300 °С (опционально до 400 °С)
Разрешение	0,1 °С
Температурная однородность	0,3 %  (по рабочей области)
Длительность шага в технологическом рецепте	0,1 ÷ 9999,9 с
Диапазон настройки высоты	От 0 до 13 мм с шагом 0,1 мм
Программное обеспечение	Информация о процессе в режиме реального времени, контроль состояния системы, запись температурных данных, создание и хранение виртуально неограниченного количества рецептов, программируемая вытяжка
Габаритные размеры	337 х 483 х 305 мм
Вес	30 кг