Siansonic UC360с - установка ультразвукового спрей-нанесения фоторезиста с большой рабочей областью
Установки ультразвукового
Преимущества модели UC360с:
- Макс. область нанесения материала: 600 мм х 600 мм
- Однородность наносимого материала: более 95%
- Прецизионный шприцевой насос для непрерывного нанесения
- Встроенная вытяжка
- Цифровой ультразвуковой генератор с шагом контроля мощности 0,01 Вт
- Лазерный указатель для позиционирования насадки
- Подходит для нанесения фоторезистов и других материалов вязкостью до 30 сПз
Технические характеристики модели UC360с:
|
Спреевая насадка |
Размер частиц: 10 — 20 мкм; ширина наносимого слоя: до 100 мм; скорость нанесения: до 50 мл/мин; толщина наносимого слоя: от 20 нм до 100 мкм |
|
Рабочая область |
Сервопривод по осям XYZ, макс. область спреевого нанесения: 600х600 мм |
|
Нагревательный столик |
Температура нагрева до 150 °С (доступен опционально) |
|
Ультразвуковая ванна |
Ультразвуковая ванна для предварительной дисперсии суспензий (опционально) |
|
Управление |
Контроллер движения с сенсорным экраном |
|
Размеры |
1720х1390х2190 мм |
|
Вес |
650 кг |
