Современные решения для производства электроники


Kenosistec

Компания Kenosistec (Италия) специализируется на разработке и производстве систем вакуумного напыления для научно-исследовательских разработок и промышленных производств с учётом специфических требований заказчиков.

В системах Kenosistec реализуются разнообразные методы осаждения тонких плёнок:

  • магнетронное распыление,
  • электронно-лучевое и термическое испарение,
  • катодная дуга.

Кластерные системы Kenosistec помимо процессов вакуумного напыления включают в себя модули, реализующие процессы травления, газо-химического и атомно-слоевого осаждения.

Модельный ряд Kenosistec

Kenosistec KS 40/80/120V - установки вакуумного магнетронного напыления тонких пленок c вертикальным расположением магнетронных источников
Установки предназначены для магнетронного напыления тонких пленок различных материалов (металлов, нитридов, оксидов и др.).
Kenosistec KE 500/1000 - установки вакуумного термического и электронно-лучевого напыления тонких пленок
Установки предназначены для вакуумного напыления тонких пленок различных материалов (металлов, нитридов, оксидов и др.) методом термического испарения или электронно-лучевым способом.
Kenosistec KS 300С/500C/1000С - установки вакуумного магнетронного напыления тонких пленок c конфокальным расположением магнетронных источников
Установки предназначены для конфокального магнетронного напыления тонких пленок различных материалов (металлов, нитридов, оксидов и др.).
Другие производители