Современные решения для производства электроники


TFE

TFE — Системы магнетронного напыления тонких пленок

 

Компания TFE (Италия) является ведущим поставщиком нового и восстановленного высокотехнологичного оборудования для полупроводниковой индустрии, и других отраслей, где требуется напыление тонких пленок.

Модельный ряд TFE

TFE BH3/4F - установки вакуумного магнетронного напыления
Установки вакуумного магнетронного напыления тонких пленок с горизонтальным расположением подложек и магнетронных источников. Установки этой серии позволяют распылять металлы, резистивные сплавы и диэлектрики из трёх либо четырёх источников.
TFE BV3/4F - установки вакуумного магнетронного напыления
Установки вакуумного магнетронного напыления тонких пленок с вертикальным расположением подложек и магнетронных источников, обеспечивающие высокую однородность плёнок в процессе осаждения.
TFE Polygon - установки вакуумного напыления
Установки вакуумного напыления тонких пленок кластерного типа.
Другие производители