Apogee Mechanical Debonder - установка механического демонтажа пластин
Установка Apogee Mechanical Debonder предназначена для демонтажа/снятия
пластин
Основные преимущества:
- Демонтаж ультратонких пластин без повреждений
- Минимальные механические нагрузки, отсутствие температурных воздействий
- Малое время цикла (менее 1 минуты)
- Технология DataStream для управления устройством в режиме реального времени
Технические характеристики:
|
Диаметр пластин |
От 50 до 300 мм |
|
Материал пластин |
SiC, GaN, GaAs, InP, сапфир, кремний, стекло |
|
Рабочая температура |
Комнатная |
|
Диапазон усилий |
От 0 до 100 Н |
|
Шаг настройки усилия |
10 Н |
|
Производительность |
до 20 пластин/час (зависит от процесса) |
|
Программное обеспечение |
Информация о процессе в режиме реального времени, создание и хранение неограниченного количества технологических рецептов, контроль температуры и влажности, визуализация и экспорт данных, анализ нескольких процессов для выбора наиболее оптимального |
|
Габаритные размеры |
635 х 914 х 1842 мм |
|
Вес |
153 кг |
