AEON - настольная установка плазменной обработки, рекомендуется для применения в лабораторных условиях и мелкосерийном производстве. Объём камеры 35 л.
Philo - установка плазменной обработки с небольшой загрузкой, рассчитанная на непрерывную работу в круглосуточном режиме. Объём камеры 8 л, 2 газовые линии.
Juno - установка плазменной обработки со средним объёмом камеры (80 л, 2 газовые линии), подходит как для применения в лабораторных условиях, так и в серийном производстве. Может использоваться для плазменного травления фоторезиста.
Titan - установка плазменной c большим объёмом камеры (95 л, 6 магазинов, 2 газовых линии). Предназначена для применения в крупносерийном производстве изделий электроники.
Quadrio 4/5 - высокопроизводительная установка плазменной обработки, предназначенная в первую очередь для очистки и модификации поверхностей лент выводных рамок и подложек. Объем рабочей камеры 6 л, 4 или 5 магазинов.
Vesta - установка плазменной обработки, конфигурируемая в соответствии с требованиями заказчика, включая размер, материал и покрытие рабочей камеры, способ манипулирования образцами и конфигурацию электродной системы.
Система плазменной обработки IoN40 представляет собой одну из последних разработок компании PVA TeРla. Модель IoN40 оснащена высокочастотным плазменным источником, улучшенной системой контроля процесса, звуковым оповещением для предотвращения ошибок в работе системы, имеет компактный дизайн для настольного применения.
Система плазменной обработки GIGA 690 позволяет проводить очистку поверхностей плазмой низкого давления и используется для обработки корпусов кристаллов перед проведением процессов микросборки, разварки выводных контактов и герметизации. Благодаря использованию микроволн система GIGA 690 обеспечивает быструю и качественную очистку поверхностей без повреждений.
