MWD-80 - установка плазменной обработки поверхности
Установка
Преимущества установки плазменной обработки поверхности MWD-80:
-
Бесконтактная не повреждающая поверхность очистка
-
Низкотемпературный процесс
-
Эффективная очистка небольших отверстий и внутренних поверхностей
-
Отсутствие загрязнений материалом электродов
Технические характеристики модели MWD-80:
|
Размеры установки (ШхВхГ ) |
860х1900х1050 мм |
|
Размеры камеры (ШхВхГ) |
400х435х495 мм |
|
Плазменный источник питания |
2,45 ГГц, мощность 100 — 1000 Вт регулируемая (более высокие значения доступны по запросу) |
|
Газовые линии |
2 входа с контроллерами MFC и магнитными клапанами |
|
Вакуумный датчик |
Датчик Пирани или емкостной манометр |
|
Управление |
ПЛК с сенсорным дисплеем |
Опционально доступные модули установки MWD-80:
-
Вакуумный насос
-
Дополнительные газовые линии
-
Поворотный рабочий столик
-
Держатель образцов с полочками
-
Сетка Фарадея
-
Дополнительные плазменные источники сверху/сбоку
Немецкая компания PVA TePla AG специализируется на производстве плазменного и вакуумного оборудования