MWD-80 - установка плазменной обработки поверхности
Преимущества установки плазменной обработки поверхности MWD-80:
- Бесконтактная не повреждающая поверхность очистка
- Низкотемпературный процесс
- Эффективная очистка небольших отверстий и внутренних поверхностей
- Отсутствие загрязнений материалом электродов
Технические характеристики модели MWD-80:
|
Размеры установки (ШхВхГ ) |
860х1900х1050 мм |
|
Размеры камеры (ШхВхГ) |
400х435х495 мм |
|
Плазменный источник питания |
2,45 ГГц, мощность 100 — 1000 Вт регулируемая (более высокие значения доступны по запросу) |
|
Газовые линии |
2 входа с контроллерами MFC и магнитными клапанами |
|
Вакуумный датчик |
Датчик Пирани или емкостной манометр |
|
Управление |
ПЛК с сенсорным дисплеем |
Опционально доступные модули установки MWD-80:
- Вакуумный насос
- Дополнительные газовые линии
- Поворотный рабочий столик
- Держатель образцов с полочками
- Сетка Фарадея
- Дополнительные плазменные источники сверху/сбоку
Немецкая компания PVA TePla AG специализируется на производстве плазменного и вакуумного оборудования