Современные решения для производства электроники

QML-EX - встраиваемая установка плазменной обработки

QML-EX

QML-EX — встраиваемая в линию установка плазменной обработки с увеличенным объёмом рабочей камеры.

Отличительные особенности модели:

— Объём камеры: 4 л;
— 2 газовые линии;
— Конвейер, работающий по протоколу SMEMA 1.2.

Размеры, объем рабочей камеры

320  х 320  х 40  (В) мм; 4,01 л

Материал рабочей камеры

Никелированный алюминий

Конфигурация электродной системы

Планарная

Частота, мощность генератора плазмы

13, 56 МГц, 300 Вт

Рабочий диапазон датчика давления

1 — 0,001 мбар

Возможные рабочие газы

Ar, O2, N2, Не, Ar/O2, Ar/H2,

другие рабочие газы — по требованию Заказчика

Количество газовых линий

2 шт

Макс. давление рабочего газа

1,5 бар

Вакуумный насос

Сухой насос, 450 л/мин

Управление

ПК, сенсорный  экран 17 ”

Электропитание

100 — 240 В, 50/60 Гц, 3 кВ*А

Требуемые подключения

Сжатый воздух 4−6 бар

Габариты

480 х 1342 х 1701 мм (Д х Г х В)

Вес

300 кг

Компания SCI Automation – это один из ведущих мировых производителей оборудования для плазменной очистки и обработки поверхностей.

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Плазменная обработка