Современные решения для производства электроники

GIGA 690 - Система плазменной обработки

Система плазменной обработки GIGA 690 позволяет проводить очистку поверхностей плазмой низкого давления и используется для обработки корпусов кристаллов перед проведением процессов микросборки, разварки выводных контактов и герметизации. Благодаря использованию микроволн система GIGA 690 обеспечивает быструю и качественную очистку поверхностей без повреждений.

Модель GIGA 690 легко управляема в автоматическом и ручном режимах, имеет удобное программное обеспечение, которое соответствует международным стандартам SEMI.

Основные применения модели GIGA 690:

  • Обработка поверхности для улучшения качества сварки
  • Очистка поверхностей для улучшения процесса микросборки
  • Обработка поверхностей для повышения качества герметизации
  • Очистка поверхностей для повышения адгезии

Контроль процесса производится в режиме реального времени, с отображением графиков рисунков на экране; производится запись и экспорт данных о процессе.

Для управления системой служат ПК контроллер и цветной сенсорный монитор 10.4”; операционная система реального времени QNX. В системе имеется функция запоминания процессов, сообщения об ошибках и системные предупреждения, пользовательский пароль.

Основные характеристики:

Рабочая камера

Материал

Алюминий

Объем

91 л

Внутренние размеры

450х450х450 мм

Вакуумная система

Подача рабочего газа

2 газовые линии, с MFC

Базовое давление

Около 0.02 мбар

Рабочее давление

0.2−2 мбар

Измеритель вакуума

0.01−10 мбар

Подключение вакуума

DN ISO K

Плазменный источник

Частота

2.45 ГГц

Мощность

0−1000 Вт

Характеристики производительности

Время беспрерывной работы

Более 95%

Время наработки на отказ

Более 500 ч

Среднее время устранения неисправности

Менее 2 ч

Интерфейсы

В базовом варианте

USB, Ethernet, RS232

Опционально

SMEMA 1.2 или SECS

Требуемые подключения

Электропитание

230 В, 1 ф., 15 А, 50−60 Гц

Рабочий газ

¼ “разъем Swagelok

Вентиляция/продувка

1−2 бар

Сжатый воздух

FESTO DN 6, 4−6 бар

Габаритные размеры (Д х В х Ш)

1050 х 1750 х 800 мм

Вес (без насоса)

195 кг

 

Доступные опции для системы GIGA 690:

  • Две дополнительные газовые линии (в сумме до 4−х)
  • Алюминиевая вращающаяся платформа Ø 400 мм
  • Вакуумная система: роторный пластинчатый насос / Комбинация роторного насоса и насоса Рутса
  • Установка на ролики
  • Навесная дверь / Слайдерная дверь
Немецкая компания PVA TePla AG специализируется на производстве плазменного и вакуумного оборудования

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Плазменная обработка