Плазмохимическое травление (RIE)

Обработка полупроводниковых пластин и подложек Осаждение тонких плёнок Операции с фоторезистом Фотолитография Безмасковая литография Травление Плазмохимическое травление (RIE) Плазменное удаление фоторезиста Травление жертвенных слоев Установка пластин на временный носитель Утонение и полировка пластин Микросборка Сборка печатных плат Обработка проводов и монтаж соединений Тестовое оборудование Вспомогательное оборудование