Современные решения для производства электроники

Osiris UNIXX SP20 - установка спрей-нанесения фоторезиста

Установка UNIXX SP20 предназначена для спрей-нанесения фоторезиста. Установка подходит для подложек диаметром до 200 мм или до 150х150 мм, разработана для лабораторных применений и небольших серийных производств.

Преимущества модели UNIXX SP20:

  • Равномерное покрытие рельефных структур
  • Держатель подложки с подогревом
  • Удобный интерфейс на базе сенсорного экрана

Особенности модели UNIXX SP20:

  • Программируемое перемещение ультразвукового сопла по осям X, Y
  • Регулировка высоты сопла
  • Автоматическая смена насадки
  • Дозирование материала задаётся в технологической программе

Технические характеристики модели UNIXX SP20:

Размеры пластин/подложек

Круглые диаметром до 200 мм,

Квадратные с размерами до 150х150 мм

Механическая регулировка сопла по высоте

до 100 мм

Нагрев

До 150°С

Шаг 0.1°С

Точность поддержания температуры

±0.5°С при 100°С

Метод распыления

Ультразвуковое сопло

Автоматическое управление

Сохранение до 200 программ, включающих 50 шагов

Требуемые подключения

Электропитание: 400 В, 3 фазы, 50 Гц;

Подача сжатого воздуха (опционально): 8 бар

Вакуум: -0,8 бар

Вытяжка: 120 м3

Подача азота (опционально): 4.5 бар

Габариты

1250 х 650 х 2000 мм

 

Компания предлагает оборудование для работы с фоторезистом: нанесение, проявление, сушка; а также установки для отмывки фотошаблонов, установки сращивания пластин.

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Операции с фоторезистом