Osiris UNIXX SP20 - установка спрей-нанесения фоторезиста
Установка UNIXX SP20 предназначена для
Преимущества модели UNIXX SP20:
- Равномерное покрытие рельефных структур
- Держатель подложки с подогревом
- Удобный интерфейс на базе сенсорного экрана
Особенности модели UNIXX SP20:
- Программируемое перемещение ультразвукового сопла по осям X, Y
- Регулировка высоты сопла
- Автоматическая смена насадки
- Дозирование материала задаётся в технологической программе
Технические характеристики модели UNIXX SP20:
|
Размеры пластин/подложек |
Круглые диаметром до 200 мм, Квадратные с размерами до 150х150 мм |
|
Механическая регулировка сопла по высоте |
до 100 мм |
|
Нагрев |
До 150°С Шаг 0.1°С |
|
Точность поддержания температуры |
±0.5°С при 100°С |
|
Метод распыления |
Ультразвуковое сопло |
|
Автоматическое управление |
Сохранение до 200 программ, включающих 50 шагов |
|
Требуемые подключения |
Электропитание: 400 В, 3 фазы, 50 Гц; Подача сжатого воздуха (опционально): 8 бар Вакуум: - Вытяжка: 120 м3/ч Подача азота (опционально): 4.5 бар |
|
Габариты |
1250 х 650 х 2000 мм |
Компания предлагает оборудование для работы с фоторезистом: нанесение, проявление, сушка; а также установки для отмывки фотошаблонов, установки сращивания пластин.