Siansonic PC330 - установка ультразвукового спрей-нанесения фоторезиста
Установка PC330 использует технологию ультразвукового нанесения
материала для получения фоторезистивных слоев высокой однородности на пластинах
и подложках при производстве изделий микроэлектроники. По сравнению с
нанесением фоторезистивных слоев методом центрифугирования такая технология
позволяет получать однородный слой фоторезиста на мелких структурах
топологии.
Преимущества модели PC330:
- Компактный дизайн для настольного применения
- Макс. область нанесения материала: 300 мм х 300 мм
- Однородность наносимого материала: более 95%
- Прецизионный шприцевой насос для непрерывного нанесения
- Встроенная вытяжка
- Цифровой ультразвуковой генератор с шагом контроля мощности 0,01 Вт
- Лазерный указатель для позиционирования насадки
- Подходит для нанесения фоторезистов и других материалов вязкостью до 50 сПз
Технические характеристики модели PC330:
|
Спреевая насадка |
Размер частиц: 10 — 40 мкм; ширина наносимого слоя: до 100 мм; скорость нанесения: до 50 мл/мин; толщина наносимого слоя: от 20 нм до 100 мкм |
|
Рабочая область |
Сервопривод по осям XYZ, макс. область спреевого нанесения: 300х300 мм; подходит для пластин диаметром 4/6/8/12 дюймов |
|
Нагревательный столик |
Температура нагрева до 150 °С (доступен опционально) |
|
Ультразвуковая ванна |
Ультразвуковая ванна для предварительной дисперсии суспензий (опционально) |
|
Управление |
ПЛК с сенсорным экраном |
|
Размеры |
1070х850х1000 мм |
|
Вес |
180 кг |
