Osiris UNIXX HT20p/HB20p - установка/модуль для сушки фоторезиста
Нагревательная плита для сушки фоторезиста, подходит для подложек
диаметром до 200 мм, или до 200х200 мм, разработана для лабораторных применений
и небольших серийных производств.
Преимущества установки UNIXX НT20p/HB20p:
- Пневматические подъёмные пины
- Равномерный нагрев
- Удобство в управлении
Особенности установки UNIXX НT20p/HB20p:
- Настольная установка в корпусе из полипропилена (НT20p) либо встраиваемый модуль (HB20p)
- Вакуумная фиксация подложки на поверхности плиты
- Управление: контроллер и таймер
Технические характеристики установки UNIXX НT20p/HB20p:
Размеры пластин/подложек |
Круглые диаметром до 200 мм, Квадратные с размерами до 200х200 мм |
Нагрев |
До 300°С Шаг 1°С |
Точность поддержания температуры |
±1°С при 100°С |
Подъёмные пины |
Комплект для работы с пластинами 50~200 мм |
Материал плиты |
Анодированный алюминий |
Материал крышки |
Нержавеющая сталь |
Требуемые подключения |
Электропитание: 220 В, 1 фаза, 50 Гц; Подача сжатого воздуха (опционально): 8 бар Вакуум: - Вытяжка: 80 м3/ч |
Габариты |
Настольная установка (НT20p): 340х510х340 мм Встраиваемый модуль (HB20p): 340х370х325/650 мм |
Компания предлагает оборудование для работы с фоторезистом: нанесение, проявление, сушка; а также установки для отмывки фотошаблонов, установки сращивания пластин.