Современные решения для производства электроники

Philo - система плазменной очистки

Philo

Philo — установка плазменной обработки с небольшой загрузкой, рассчитанная на непрерывную работу в круглосуточном режиме.

Отличительные особенности модели:

— Объём камеры: 8 л;
— Автоматический загрузочный шлюз;
— 2 газовые линии.

Размеры загрузочного лотка

350  х 350  х 30  (В) мм

Размеры рабочей камеры

400  х 400  х 50  (В) мм; 8 л

Конфигурация электродной системы

Планарная

Частота, мощность генератора плазмы

13,56 МГц, 300  Вт (600  Вт — опционально)

Рабочий диапазон датчика давления

1 — 0,001 мбар

Возможные рабочие газы

Ar, O2, N2, Не, Ar/O2, Ar/H2,

другие рабочие газы — по требованию Заказчика

Количество газовых линий

2 шт, линия продувки азотом — опционально

Макс. давление рабочего газа

1,5 бар

Вакуумный насос

Масляный насос, 15 м3/час

Управление

ПЛК, сенсорный  экран 7,5 ”

Электропитание

100 — 240 В, 50/60 Гц, 2,5  кВ*А

Требуемые подключения

Сжатый воздух 4−6 бар

Габариты

565 х 1143 х 1183 мм (Д х Г х В)

Вес

300 кг

Компания SCI Automation – это один из ведущих мировых производителей оборудования для плазменной очистки и обработки поверхностей.

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Плазменная обработка