WIS1100 - установка оптической инспекции
Установка разработана для применениия в полупроводниковой
промышленности и предназначена для оптической инспекции, составления карты
пластины (wafer mapping) и классификации дефектов на пластинах 4” и 6”.
Установка оборудована микроскопом Nikon Eclipse L200N с 4−мя моторизованными
объективами. Функция автоматического выравнивания обеспечивает точность
центрирования и ориентации пластины. Считывающее устройство обеспечивает обмен
информацией о пластине
Особенности модели WIS1100:
- Микро- и макроинспекция
- Режимы работы микроскопа: светлое и тёмное поле, NIC
- Автоматическая подача пластин
Волоконно-оптическая подсветка- Индексация по XY с пользовательскими кодами деффектов
- Функции автоматического выравнивания и составления карты пластины
- Интерфейс ПО: управление технологическими программами, карта пластины, карта кассеты, управление микроскопом
- Чернильный маркер (опция)
Технические характеристики модели WIS1100:
|
Пластины |
|
|
Размер |
4” и 6” |
|
Толщина |
250~700 микрон |
|
Кривизна |
До 1 мм (*) |
|
Загрузка |
|
|
Устройство загрузки (загрузочный порт) |
1 шт. |
|
Ностители для пластин |
Кассеты 4” и 6” стандарта SEMI |
|
Манипуляции с пластинами и инспекция |
|
|
Предварительное выравнивание |
Центрирование и ориентация пластины |
|
Картирование кассеты |
Определение выпячивания пластины, перекоса пластины в слоте, наличия 2х пластин в слоте |
|
Микроскоп |
Nikon Eclipse L200N с 4−мя объективами (5х, 10х, 20х, 50х) |
|
Программное обеспечение |
|
|
ОС |
Microsoft Windows 7 |
|
Специальное ПО |
Wafer Inspecion System Series |
|
Считывающее устройство |
|
|
Коды |
Barcode: BC412, IBM412 (IBM & SEMI, T1−95 & Base35) 2D: QR, MicroQR, DataMatrix (ECC200), GS1 DataMatrix |
|
Стандартные аксессуары |
|
|
Камера |
Цветная, ПЗС матрица |
|
Мониторы |
18,5” LCD, 2 шт. |
|
Индикация статуса |
Световая сигнальная колонна |
|
Устройства ввода информации |
Клавиатура, мышь, джойстик |
|
Дополнительные аксессуары |
|
|
Антивибрационный стол |
Давление 1,5~5.5 бар |
|
Сетевое подключение |
Протокол TCP/IP |
|
Маркировка негодных кристаллов |
Чернильный маркер |
|
Требования по подключениям |
|
|
Электропитание |
220 В, 50 Гц, 1 фаза |
|
Сжатый воздух |
5 бар |
|
Габариты |
|
|
Ш х Г х В |
1650 х 1350 х 1600 мм |
