IR-2200 - инфракрасный микроскоп
Инфракрасный микроскоп предназначен для инспекции поверхности кремниевых и поликоровых пластин, для подповерхностного исследования микрообъектов, включая структуры MЭMC устройств, 3D сборки, фотоэлектрические устройства, компоненты CSP. Инфракрасный микроскоп более гибкий, чем традиционные микроскопы, позволяет анализировать образцы малых размеров.
Система
Технические характеристики модели
|
Диапазон спектральной чувствительности |
400 нм – 2000 нм |
|
Освещение |
По Келлеру |
|
Штатив |
Фокусировка по оси Z |
|
Рабочий столик |
Ручная регулировка по осям X, Y |
|
Объективы 400 – 1100 нм |
Увеличение: 2,5Х; 5Х; 10Х; 20Х Рабочее расстояние: 32,0; 35,1; 36,9; 22,0 мм Фокусное расстояние: 80,0; 40; 20; 10 мм Разрешение: 4,6; 1,7; 1,2; 0,8 мкм Глубина фокусировки: 76,4; 10,7; 4,4; 2,2 мкм |
|
Объективы до 1600 нм |
Увеличение: 1,0Х; 2,5Х; 10Х; 20Х; 50Х; 100Х Рабочее расстояние: 12; 28,0; 30,7; 12; 10; 10 мм Фокусное расстояние: 200; 80; 20; 10; 4; 2 мм Разрешение: 22,4; 6,7; 1,3; 1,3; 1,1; 0,9 мкм Глубина фокусировки: 611; 55; 2,2; 2,2; 1,5; 0,9 мкм |
|
Объективы 1000 – 2000 нм |
Увеличение: 20Х; 50Х Рабочее расстояние: 10; 10мм Фокусное расстояние: 10; 4 мм Разрешение: 1,5; 1,2 мкм Глубина фокусировки: 2,15; 1,58 мкм |
Подключаемые камеры
|
ABS InGaAS |
Высокочувствительная ИК камера IK1523 (ближний ИК свет), интервал чувствительности: 900 – 1700 нм. |
|
CMOS NIR |
Камера со спектральной чувствительностью 380 – 1000 нм; 750 – 950 нм; 400 – 1200 нм |
