Современные решения для производства электроники

Siansonic PL - автоматические установки ультразвукового спрей-нанесения фоторезиста

Установки ультразвукового спрей-нанесения материалов серии PL широко используются для нанесения фоторезистивных слоев на пластины и подложки при производстве изделий микроэлектроники, а также для нанесения различных материалов при производстве медицинских изделий, солнечных элементов и топливных ячеек. Кроме того, модели серии PL подходят для ультразвукового спрей-пиролиза.

Все модели серии PL оснащены конвейером для перемещения подложек, используют запатентованную компанией Siansonic технологию ультразвукового спреевого нанесения материалов с высочайшей однородностью, подходят для производства больших партий изделий.

Преимущества моделей серии PL:

  • Однородность наносимого материала: более 95%
  • Прецизионный шприцевой насос для непрерывного нанесения
  • Встроенная вытяжка
  • Цифровой ультразвуковой генератор с шагом контроля мощности 0,01 Вт
  • Подходят для нанесения фоторезистов и других материалов вязкостью до 30 сПз

Технические характеристики моделей серии PL:

Спреевая насадка

Размер частиц: 10 — 40 мкм; ширина наносимого слоя: до 100 мм; скорость нанесения: до 50 мл/мин; толщина наносимого слоя: от 20 нм до 100 мкм

Рабочая область

Сервопривод с конвейерной системой, макс. ширина нанесения фоторезиста 600 мм

Нагревательный столик

Температура нагрева до 150 °С (доступен опционально)

Ультразвуковая ванна

Ультразвуковая ванна для предварительной дисперсии суспензий (опционально)

«Мульти-насадка»

Опционально возможно использование сразу нескольких спреевых насадок

Управление

Контроллер движения с сенсорным экраном

Размеры

2010х1430х2040 мм

Вес

450 кг



Оборудование для ультразвукового спрей-нанесения тонких покрытий

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Операции с фоторезистом