Siansonic PL - автоматические установки ультразвукового спрей-нанесения фоторезиста
Установки ультразвукового
Все модели серии PL оснащены конвейером для перемещения подложек, используют запатентованную компанией Siansonic технологию ультразвукового спреевого нанесения материалов с высочайшей однородностью, подходят для производства больших партий изделий.
Преимущества моделей серии PL:
- Однородность наносимого материала: более 95%
- Прецизионный шприцевой насос для непрерывного нанесения
- Встроенная вытяжка
- Цифровой ультразвуковой генератор с шагом контроля мощности 0,01 Вт
- Подходят для нанесения фоторезистов и других материалов вязкостью до 30 сПз
Технические характеристики моделей серии PL:
|
Спреевая насадка |
Размер частиц: 10 — 40 мкм; ширина наносимого слоя: до 100 мм; скорость нанесения: до 50 мл/мин; толщина наносимого слоя: от 20 нм до 100 мкм |
|
Рабочая область |
Сервопривод с конвейерной системой, макс. ширина нанесения фоторезиста 600 мм |
|
Нагревательный столик |
Температура нагрева до 150 °С (доступен опционально) |
|
Ультразвуковая ванна |
Ультразвуковая ванна для предварительной дисперсии суспензий (опционально) |
|
«Мульти-насадка» |
Опционально возможно использование сразу нескольких спреевых насадок |
|
Управление |
Контроллер движения с сенсорным экраном |
|
Размеры |
2010х1430х2040 мм |
|
Вес |
450 кг |
