Osiris UNIXX НT20e/HB20e - Установка/модуль для сушки фоторезиста
Нагревательная плита UNIXX НT20e/HB20e преднаначена для
сушки фоторезиста, подходит для подложек диаметром до 200 мм, или до 200х200
мм, разработана для лабораторных применений и небольших серийных
производств.
Преимущества нагревательной плиты UNIXX НT20e/HB20e:
- Подъёмные пины с программируемой регулировкой высоты
- Равномерный нагрев
- Удобство в управлении, написании и сохранении технологических программ
Особенности нагревательной плиты UNIXX
НT20e/HB20e:
- Настольная установка в корпусе из полипропилена (НT20e) либо встраиваемый модуль (HB20e)
- Вакуумная фиксация подложки на поверхности плиты
- Интерфейс: сенсорный экран 7”
- Опционально доступны продувка азотом и нанесение ГМДС
Технические характеристики установки UNIXX НT20e/HB20e:
|
Размеры пластин/подложек |
Круглые диаметром до 200 мм, Квадратные с размерами до 200х200 мм |
|
Нагрев |
До 300°С Шаг 1°С |
|
Точность поддержания температуры |
±1°С при 100°С |
|
Подъёмные пины |
Комплект для работы с пластинами 50~200 мм |
|
Материал плиты |
Анодированный алюминий |
|
Материал крышки |
Нержавеющая сталь |
|
Требуемые подключения |
Электропитание: 220 В, 1 фаза, 50 Гц; Подача сжатого воздуха (опционально): 8 бар Вакуум: - Вытяжка: 80 м3/ч Подача азота (опционально): 4 бар |
|
Габариты |
Настольная установка (НT20e): 340х510х340 мм Встраиваемый модуль (HB20e): 340х370х325/650 мм |
