FINEPLACER femto 2 - автоматическая субмикронная монтажная станция
Установка FINEPLACER® femto 2 – это полностью автоматическая монтажная платформа для микромонтажа кристаллов с точностью 0,3 мкм и выше.
Модель FINEPLACER® femto 2 сочетает в себе уникальную гибкость и высочайшую точность, может использоваться как для прототипирования, так и для производства электронных изделий. Защитный корпус установки позволяет проводить технологические процессы в полностью контролируемой среде, защищенной от негативного воздействия окружающих факторов. Это гарантирует высокую стабильность и повторяемость процессов, большой процент выхода годных изделий.
Новая монтажная платформа FINEPLACER® femto 2 использует инновационную систему оптического позиционирования FPXvisionTM, которая в сочетании с усовершенствованной функцией распознавания образов выводит систему визуального совмещения на качественно новый уровень. Обновленное программное обеспечение обеспечивает последовательное и четко структурированное развитие технологических процессов. Модульная конфигурация установки FINEPLACER® femto 2 позволяет в любое время индивидуально настроить и дооснастить установку для поддержки различных технологий микросборки.
Монтажная платформа FINEPLACER® femto 2 — идеальный инструмент для разработки и производства изделий. Установка позволяет проводить инспекцию, упаковку, окончательное испытание и аттестацию полупроводниковых изделий: сенсоров, модулей связи, медицинских приборов и др.
Технические параметры*
- Субмикронная точность монтажа при работе как с большими, так и с маленькими подложками
- Широкий диапазон контролируемого усилия прижима
- Возможность работы с несколькими кристаллами различных размеров
- Различные технологии монтажа
- Безопасный и контролируемый процесс в чистых условиях
- Модульная конфигурация позволяет дооснащать установку в любое время
- Ультранизкие усилия прижима
- Визуальный контроль процесса в режиме реального времени
- Сохранение всех данных процесса (параметры/видео)
- Синхронизованный контроль всех параметров процесса
- Автоматический режим для производства, ручной режим для разработки процесса
- Автоматическая смена рабочего инструмента
- Конфигурация установки подбирается в соответствии с техническими требованиями
- Установка совместима с другими платформами Finetech
* могут отличаться в зависимости от конфигурации
Применения и поддерживаемые технологии
- Микросборка микроэлектромеханических систем (MEMS/MOEMS)
- Сборка датчиков изображения, ИК сенсоров
- Сборка детекторов рентгеновского и гамма-излучения
- Сборка
вертикально-излучающих лазеров (VCSEL), фотодиодов и их матриц - Монтаж лазерных диодов и лазерных линеек
- Оптический монтаж (модули TOSA/ROSA)
- Микросборка СВЧ модулей
- Адгезионный монтаж
- Пайка с применением обычных и эвтектических припоев
- Спекание
- Термокомпрессия
- Термо- и ультразвуковой монтаж
- Вакуумная пайка кристаллов
- Лазерная пайка кристаллов
Флип-чип монтаж- Технология «кристалл на стекле» (CоG)
- 2,5D и 3D микросборки
- Бескорпусный монтаж по технологии «кристалл на гибкой плате» (CoF)
- Бескорпусный монтаж по технологии «кристалл на плате» (CoB)
- Сборка по технологии «пластина к пластине (W2W)
- Сборка по технологии «кристалл к пластине (C2W)
Конфигурация монтажной станции FINEPLACER® femto 2 включает в себя базовые модули, процессные модули и функциональные дополнения.
Базовые модули монтажной станции FINEPLACER® femto 2
|
Система оптического позиционирования FPXvisionTM |
Для быстрого ил легкого выравнивания положения компонента относительно подложки перед установкой с высокой точностью |
|
Распознавание образов |
Программный инструмент для автоматического распознавания меток совмещения |
|
Лазерный целеуказатель |
Помогает нацелить оптику на рабочей области подложки |
Процессные модули монтажной станции FINEPLACER® femto 2
|
Модуль прижима |
|
|
Модуль верхнего нагрева (нагрев инструмента) |
Нагрев специализированного инструмента с компонентом. Позволяет нагревать сборку сверху в таких технологических процессах, как термокомпрессия, монтаж на клей, монтаж с применением анизотропных проводящих адгезивов и др. |
|
Модуль «притирки» |
Позволяет улучшить смачиваемость соединяемых поверхностей, снижает количество пустот, механически «счищает» оксидные слои за счет низкочастотных колебаний инструмента в ходе процесса |
|
Модуль нагрева пластин |
Специализированный нагревательный столик для работы с большими пластинами. Обеспечивает однородное распределение температуры по всей поверхности при сборке по технологии «пластина к пластине» или «кристалл к пластине» (W2W, C2W) |
|
Модуль дозатора |
Встроенный модуль дозатора для нанесения адгезивов, паяльных паст, флюсов или других материалов. Возможны различные типы дозаторов: пневматический, объемный, струйный |
|
Модуль подачи паров муравьиной кислоты |
Позволяет подавать пары муравьиной кислоты (CH2O2) в область пайки, предотвращая окисление материала припоя (например, индия). Является дополнением к нагревательному столику |
|
Модуль нижнего нагрева (нагревательный столик) |
Нагреваемый столик с фиксатором подложки. Размеры, форма столика, тип фиксатора могут быть различны. Используется в таких технологических процессах, как термокомпрессия, монтаж на клей, термозвуковой монтаж и др. |
|
Модуль подачи рабочего газа |
Рабочая камера и шланги для подачи инертного газа или |
|
Модуль лазерного нагрева |
Ультрабыстрый нагрев для пайки с помощью мощного лазера |
|
Ультразвуковой модуль |
Специализированный модуль для ультра- и термозвукового монтажа компонентов.
Передает ультразвуковые колебания в контактную область |
|
Модуль ультрафиолетового отверждения адгезивов |
УФ подсветка для отверждения специализированных адгезивов без нагрева |
|
Вакуумная камера |
Встроенная вакуумная камера для рабочего столика. Позволяет снизить вероятность образования пустот в процессе пайки |
Функциональные дополнения монтажной станции FINEPLACER® femto 2
|
Модуль захвата кристаллов с пластины на липком носителе |
Позволяет захватывать кристаллы с пластины на пленочном носителе |
|
Подача компонентов |
Предметные столики для размещения |
|
Модуль переворачивания компонентов |
Аккуратный переворот компонентов для |
|
Тестер |
Зондирование/тестирование компонентов перед процессом микромонтажа |
|
Видеомодуль |
Визуальный контроль процесса монтажа в режиме реального времени (вид сбоку). |
|
Держатель подложки |
Ненагреваемый подложкодержатель с специализированными фиксаторами (механическими или вакуумными) для размещения подложки |
|
Автоматическая смена инструмента |
Автоматическая смена различных инструментов или наконечников в процессе монтажа |
|
Модуль подачи подложек |
Подача и вращение подложек в диапазоне до 360 ° независимо от рабочего инструмента |
|
Сканер высоты (автофокус) |
Автоматическая фокусировка и измерение высоты в процессе монтажа |
|
Сканер высоты (лазерный) |
Позволяет измерять высоты методом лазерной триангуляции |
