Вакуумный кластерный инструмент PICOPLATFORM 200

Вакуумный кластерный инструмент PICOPLATFORM™ 200 продолжает идею уникальной масштабируемости и модульности всех инструментов АСО PICOSUN™. Кластер состоит из нескольких отдельных реакционных камер для АСО, интегрированных вокруг центрального модуля загрузки и контроля, основанного на вакуумном роботизированном манипуляторе Brooks MX400.

Кластер PICOPLATFORM 200 может быть оборудован загрузочным шлюзом для работы с одиночными подложками или автоматизированным покассетным загрузчиком, не нарушая при этом вакуумирование реакционных камер АСО. Также возможно подключение кластера к модулям, осуществляющим другие технологические процессы осаждения, и к системам предварительной обработки и постобработки.