Современные решения для производства электроники

MA - ручные установки совмещения и экспонирования

Серия MA  — это серия ручных установок совмещения и экспонирования для контактной литографии.

Достоинства моделей серии MA:

  • Оптика высокого разрешения
  • Рабочий столик для точного совмещения
  • Компенсация ошибки клина
  • Управление с помощью ПЛК
  • Возможность точного задания зазора
  • Надежность и стабильность

Технические характеристики моделей серии МА:

УФ источник

200 — 2000 Вт, длина волны: 365 нм;

Интенсивность:25−30 мВт/см2 ;

Область однородного излучения: 100 мм x 100 мм — 200х200 мм ;

Однородность излучения: ±5% ;

Угол расхождения: < 2.5 градуса

Система совмещения

ССD камера (опционально возможно двустороннее совмещение); увеличение: 50х – 300х;

Цветной монитор LCD; LED коаксиальная подсветка;

Перемещение по осям X, Y, Z: 20 мм; быстрое перемещение по осям X, Y: 100 мм

Рабочий столик

Компенсация ошибки клина

Держатель фотошаблонов: 4−9" (другие размеры — по запросу)

Настройка по осям X, Y, Z и углу поворота θ в диапазонах: X, Y: 10 мм, θ : 3 градуса;

Точность: 1 мкм;

Режимы экспонирования: контактный и с зазором (0−5 мм)

Интерфейс

Ручное управление;

Время экспонирования: до 999.9 с;

Быстрая смена фотошаблона;

Кнопка аварийного выключения

Опции

Антивибрационный стол, воздушный компрессор, вакуумный насос, держатель кусочков пластин

Производитель зондовых станций и оборудования для экспонированияи и совмещения

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Фотолитография