Современные решения для производства электроники

POLOS MicroPrinter - бюджетная установка безмасковой литографии

POLOS MicroPrinter представляет собой установку безмасковой литографии для быстрого прототипирования, реализованную на базе проекционной технологии μLCD, совместимой с большинством современных фоторезистов и подложек. Использование данной установки позволяет получать топологию непосредственно на подложке без использования фотошаблонов. Основные применения установки POLOS MicroPrinter: микроэлектроника, 2D−материалы, микрофлюидика, оптоэлектроника, оптика и т.д.

Особенности модели POLOS MicroPrinter:

  • Максимальное разрешение — до 2мкм
  • Возможность изменения скорости письма и разрешения за счет сменных объективов
  • Совместимость с CAD файлами и изображениями bitmap
  • Совместимость с g-line фоторезистами
  • Подходит для подложек различных материалов (кремний, стекло, металл, пластик) с размерами до 100х100мм
  • Имеет камеру для совмещения слоев по реперным меткам

Преимущества модели POLOS MicroPrinter:

  • Экономия времени и средств за счет отсутствия необходимости использования фотошаблонов
  • Интуитивно понятный метод совмещения за счет прямого захвата меток в ПО
  • Настольное исполнение, компактные размеры
  • Установка идеально подходит для лабораторий и исследовательских центров

Технические характеристики POLOS MicroPrinter:

Длина волны

Экспонирование: 435 нм, Совмещение: 525 нм

Максимальное разрешение

От 2мкм до 23мкм

(в зависимости от выбранного объектива)

Точность совмещения

до 1 мкм/см2

Максимальная область экспонирования

75 x 75 мм2

Размер подложки

До 100х100мм

Габариты

Ш: (36 см); Г: (36 см); В: (60 см)

Оборудование для совмещения и экспонирования, установки вакуумного напыления тонких пленок, установки травления и др.

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Безмасковая литография