MS-150 - ручная установка скрайбирования

Установка MS-150 предназначена для ручного скрайбирования полупроводниковых пластин алмазным резцом.

Технические характеристики модели:

• Размеры пластин от 50 до 150 мм (другие размеры – по запросу)
• Вращение держателя пластин на 90 градусов
• Максимальная длина хода по оси X: 150 мм, разрешение 5 мкм
• Максимальная длина хода по оси Y: 150 мм, разрешение 5 мкм
• Ход инструмента по оси Z: 10 мм, разрешение 10 мкм
• Регулируемое усилие: 5 – 600 г (другие значения – по запросу)
• Автоматическое опускание инструмента
• Плавная регулировка угла инструмента: в диапазоне 45 градусов
• Вакуумный насос – опционально доступен