DS VARIATION ecoLINE - установка автоматической инспекции и сортировки полупроводниковых кристаллов
Установка DS VARIATION ecoLINE предназначена для автоматической
инспекции и сортировки полупроводниковых кристаллов. Установка обеспечивает
высокий уровень производительности, отвечающий требованиям крупносерийных
производств.
Инспекция кристаллов производится по всем шести сторонам: по верхней, нижней и боковым граням. Установка позволяет работать с различными носителями кристаллов.
Преимущества модели DS VARIATION ecoLINE:
- Высокая гибкость и быстрая переналадка
- Работа с пластинами большого диаметра
- Высокая производительность
- Автоматическая оптическая инспекция кристаллов по всем сторонам
Особенности модели DS VARIATION ecoLINE:
- Работа с плёночными носителями, ленточными питателями, Waffle pack, Jedec и другими
- Возможен переворот кристаллов (flip chip)
- Обнаружение дефектов размером до 7 мкм (5 мкм по боковым граням)
- Высокая точность укладки кристаллов: 30 мкм (опционально до 20 мкм)
Технические характеристики модели DS VARIATION ecoLINE:
|
Размеры кристаллов |
— Без переворота: от 0,25х0,25 до 25,0х25,0 мм — С переворотом: · Стандартно: от 0,25х0,25 до 15,0х15,0 мм · Опционально: от 0,25х0,25 до 20,0 х 20,0 мм |
|
Точность размещения кристаллов |
± 30 мкм (опционально: ± 20 мкм) |
|
Производительность |
С переворотом: до 6000 кристаллов/час |
|
Размеры пластин |
До 300 мм |
|
Инспекция |
По 6−ти сторонам с высоким разрешением Обнаружение дефектов размером до 7 мкм (5 мкм по боковым граням) |
