Полуавтоматические зондовые станции серии СР
Преимущества зондовых станций серии СР:
- Высокая точность позиционирования зондов (до ±2 мкм), высокая точность измерений
- Замкнутая система управления с обратной связью
- Диапазон температур при зондировании
от -60 ºС до 300 ºС - Различные типы держателей образцов
- Поддерживает работу с проб-картами
- Интеллектуальное программное обеспечение
Зондовые станции серии СР позволяют проводить измерения при различных значениях температуры и тестовых сигналов, обеспечивают высокую достоверность и надежность результатов измерений благодаря прецизионному контакту между зондами и контактными площадками на пластине. Имеют функции автоматического выравнивания пластины и выравнивания зондов. Модели оснащены антивибрационным столом и экранирующим корпусом для повышения точности измерений.
Технические характеристики зондовых станций серии СР:
|
Диапазон перемещений |
По осям |
|
Разрешение перемещения |
По осям |
|
Скорость перемещения |
По осям |
|
Точность позиционирования |
По осям |
|
Диапазон вращения по углу Theta |
≥7,5° |
|
Разрешение по углу Theta |
0.0001° |
|
Диапазон перемещений микроскопа |
По осям |
|
Разрешение перемещений микроскопа |
По осям |
|
Точность позиционирования микроскопа |
≤±2 мкм |
|
Температура |
от ‐60 °C до 300 °C ±1°C |
|
Управление |
ССD дисплей 23" |
|
Интерфейсы |
USB, GPIB, Rs232, TCP/IP |

