Современные решения для производства электроники

Полуавтоматические зондовые станции серии СР

Преимущества зондовых станций серии СР:

  • Высокая точность позиционирования зондов (до ±2 мкм), высокая точность измерений
  • Замкнутая система управления с обратной связью
  • Диапазон температур при зондировании от -60 ºС до 300 ºС
  • Различные типы держателей образцов
  • Поддерживает работу с проб-картами
  • Интеллектуальное программное обеспечение

Зондовые станции серии СР позволяют проводить измерения при различных значениях температуры и тестовых сигналов, обеспечивают высокую достоверность и надежность результатов измерений благодаря прецизионному контакту между зондами и контактными площадками на пластине. Имеют функции автоматического выравнивания пластины и выравнивания зондов. Модели оснащены антивибрационным столом и экранирующим корпусом для повышения точности измерений.

Технические характеристики зондовых станций серии СР:

Диапазон перемещений

По осям X-Y: 350х400 мм; по оси Z: 20 мм

Разрешение перемещения

По осям X-Y-Z: 0,1 мкм

Скорость перемещения

По осям X-Y: ≥70 мм/с; по оси Z: ≥20 мм/с

Точность позиционирования

По осям X-Y-Z: ≤±2 мкм

Диапазон вращения по углу Theta

≥7,5°

Разрешение по углу Theta

0.0001°

Диапазон перемещений микроскопа

По осям X-Y: 50х50 мм; по оси Z: 120 мм

Разрешение перемещений микроскопа

По осям X-Y-Z: 0,1 мкм

Точность позиционирования микроскопа

≤±2 мкм

Температура

от ‐60 °C до 300 °C ±1°C

Управление

ССD дисплей 23"

Интерфейсы

USB, GPIB, Rs232, TCP/IP

Ручные и полуавтоматические зондовые станции производства компании Signatone

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Контроль электрических параметров