Ручные зондовые станции серии МТ
Преимущества зондовых станций серии МТ:
- Высокая точность позиционирования зондов (до ±1 мкм), высокая эффективность и надежность измерений
- Замкнутая система управления с обратной связью
- Предназначена для измерений на пластинах диаметром до 200 мм
- Может быть адаптирована для ВЧ/СВЧ и вольтамперных измерений на пластинах с кристаллами, одиночных кристаллах
Зондовые станции серии МТ оснащены держателем пластин с управлением по осям
Зондовые станции серии МТ имеют возможность модификации несущей плиты для использования карты пробников; могут оснащаться различными моделями микроскопов с фото/видео функциями.
Технические характеристики зондовых станций серии МТ:
|
Модель |
МТ-200АD |
|
Держатель пластин |
Круглый диаметром 200 мм, с вакуумным отверстием в центре и кольцевыми канавками для фиксации пластин |
|
Позиционирование |
Пневмопривод для перемещения по осям |
|
Плита для держателей зондов |
Может вместить до 10 DC микропозиционеров или до 8 RF микропозиционеров |
|
Защита образцов |
Блокировка переключателя воздушного потока при контакте зондов с пластиной. Держатель пластин неподвижен |
|
Карта пробников |
Тестирование с картой пробников возможно при |
|
Высоковольтный держатель |
Опционально доступен; 3000 — 10000 В |
|
Вес |
85 кг |
|
Габаритные размеры |
650х550х640 мм (ДхШхВ) |
