Современные решения для производства электроники

NANO 150G - полуавтоматическая установка дисковой резки

NANO 150G

Полуавтоматическая установка NANO 150G предназначена для прецизионной дисковой резки пластин и подложек различных материалов.  Оснащена функцией визуального контроля состояния режущего диска, инновационной вакуумной системой, снижающей потребление воздуха на 60%, интуитивно понятным графическим пользовательским интерфейсом. Имеет эргономичный дизайн для удобства управления. Модель NANO 150G обеспечивает  высокую стабильность и повторяемость от процесса к процессу.

Технические характеристики:

Размеры пластин/подложек

Круглые Ø 6”, квадратные 150х150 мм

Шпиндель

Макс. мощность

1,2 кВт

Частота вращения

6000–60000 об/мин

Тип

На воздушном подшипнике

Привод оси Х

Макс. длина реза

160 мм

Скорость

0,1 – 300 мм/с

Привод оси Y

Макс. длина реза

160 мм

Шаг

0,125 мкм

Точность позиционирования

3 мкм/5 мм; 5 мкм/160 мм

Привод оси Z

Макс. ход

25 мм

Разрешение

0,25 мкм

Макс. диаметр диска

60 мм

Повторяемость

1 мкм

Привод вращения по углу Theta

Макс. угол поворота

360 °

Разрешение

0,405’

Дисплей

Цветной LCD 15’’

Габаритные размеры

650 х 860 х 1580 мм (ШхГхВ)

Вес

320 кг


Видео NANO 150G
NDS NANO150G - установка дисковой резки пластин и подложек
Оборудование дисковой резки пластин на кристаллы

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Дисковая резка