Современные решения для производства электроники

NDS 406/408/412 - серия установок для отмывки пластин

NDS 406/408/412

Установки NDS 412/408/406 предназначены для мелкодисперсной очистки полупроводниковых пластин с помощью водной струи.  Оснащены центрифугой для вращения пластин с регулируемой скоростью и соплом для распыления водной струи.  Управление процессом осуществляется с помощью ПЛК с сенсорным экраном.

Технические характеристики:

Модель/параметр

NDS 412

NDS 408

NDS 406

Макс. диаметр пластин

12”

8”

6”

Скорость вращения центрифуги

400 – 2800 об/мин

Центробежное давление

3,0 – 11,8 МПа

Обдув пластины

Азот, сжатый воздух

Питание

220 В ± 10%

Потребляемая мощность (макс.)

1,1 кВт

Требуемые подключения

Сжатый воздух: 0,5 – 0,7 МПа; 200 л/мин;

Азот : 0,2 – 0,4 МПа; 100 л/мин;

Вода: 0,2 – 0,4 МПа; 0,04 – 1,5 л/мин;

Вытяжка: более 3 м3/мин

Габаритные размеры (ШхГхВ)

450х950х1510 мм

 

Оборудование дисковой резки пластин на кристаллы

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Дисковая резка