Автоматические зондовые станции
Автоматические зондовые станции используются в электронной промышленности в процессах производства для измерения электрических характеристик полупроводниковых изделий и устройств на пластинах размером от 100 мм до 300 мм. Они позволяют проводить измерения при различных значениях температуры и тестовых сигналов. Достоверность и надежность результатов измерений достигается в результате получения прецизионного контакта между зондами и контактными площадками на пластине.
Основные преимущества:
-
Высокая точность позиционирования зондов (до ±1 мкм), эффективность и надежность измерений достигается использованием полностью замкнутой системой управления.
-
Время позиционирования до 240 мс, массивное мраморное основание и высокая жесткость конструкции обеспечивают высокую нагрузку, низкую вибрацию и быструю настройку всех перемещений.
-
Диапазон температур при зондировании составляет
от -40°C до +200°C с использованием специализированных держателей пластин. -
Максимальное усилие на держатель пластин по оси Z составляет 750 кгс, а его четыре стороны объединены для достижения минимальной деформации пластины при высоком или эксцентричном давлении на нее.
Технические характеристики:
|
Модель* |
С300 |
Н300 |
Т300 |
М300 |
Т200НV |
||
|
Применение |
Универсальная модель |
Универсальная модель |
Имеет три режима температур |
Для тестирования микросхем памяти |
Для тестирования полупроводников третьего поколения |
||
|
Диаметр пластин |
12”/8” |
8”/6”/5”/4” |
|||||
|
Толщина пластин |
200−2200 мкм |
200−2200 мкм |
|||||
|
Точность позиционирования |
По осям XY: ± 1 мкм По осям ZƟ: ± 2 мкм |
По осям XY: ± 2 мкм По осям ZƟ: ± 3 мкм |
|||||
|
Время позиционирования |
240 мс (X/Y :10 мм, Z: 0,5 мм) |
250 мс (X/Y :10 мм, Z: 0,5 мм) |
|||||
|
Максимальное усилие на держатель пластин |
200 кгс |
750 кгс |
150 кгс |
||||
|
Температура |
Окружающая среда |
Окружающая среда ÷ 150 °С ± 1 °С |
- |
Окружающая среда ÷ 150 °С ± 1 °С |
- |
||
|
Интерфейсы |
GPIB, RS232 |
GPIB, RS232, TTL |
|||||
|
Размеры |
1750 мм (Ш)*1690 мм (Г)*1460 мм (В) |
1710 мм (Ш)*1890 мм (Г)*1500 мм (В) |
2000 мм (Ш)*1890 мм (Г)*1500 мм (В) |
1200 мм (Ш)*1250 мм (Г)*1100 мм (В) |
|||
|
Вес |
2000 кг |
2200 кг |
1200 кг |
||||
|
Электропитание |
220 В / 1.0 КВА |
220 В / 2.0 КВА |
220 В / 5.7 КВА |
220 В / 2.0 КВА |
220 В / 5.7 КВА |
||
|
Сжатый воздух |
≥ 0.6 МПа |
||||||
|
Вакуум |
≤ -60КПа |
||||||
* Поддержка работы с картами пробников прямоугольной и круглой форм и опция их автоматической замены (АРС).
* Поддержка операций с тонкими пластинами с помощью держателя Бернулли.
Программные функции:
- Функция выравнивания пластины
- Функция выравнивания зондов
- Совместимость с различными типами кристаллов — до 2млн
- Функция повторного тестирования по карте кристаллов и двустороння совместимость с различными форматами карт
- Поддержка импорта файлов для создания карты кристаллов на пластине
- Функция оптического распознавания (OCR) идентификатора (ID) пластины
- Функция обнаружения следов от игольчатых зондов (PMI)
- Интерфейс GPIB
- Поддержка протокола связи SECS / GEM
- Редактирование свойствкартыи кристалла в автономном режиме
- Совместимость с основными форматами файлов карт кристаллов.
