21 мая 2021
Новое видео от компании PVA TePla: бесконтактная система лазерного измерения напряжения на полупроводниковых пластинах
Компания PVA TePla – ведущий производитель плазменного и метрологического оборудования – представила видео, демонстрирующее работу бесконтактной системы измерения напряжения в тонких пленках полупроводниковых пластин. В основе системы светопропускающий полярископ темного поля. В процессе инспекции линейно поляризованный лазерный луч проникает в исследуемую пластину. Если кристаллическая структура пластины идеальна, без напряжений, поляризация лазерного луча не меняется. Однако при наличии напряжений или дефектов в кристалле лазерный луч подвергается деполяризации.
Особенности системы:
- Непрерывное или периодическое вращение пластины на поворотном столе
- Запись данных в соответствии с предустановленным протоколом измерения
- Время измерения определяется выбранным разрешением по горизонтали (≥50 мкм) и скоростью сканирования (макс. 1 см² с⁻¹).
- Система позволяет зафиксировать даже самые незначительные перепады напряжений (> 100 Па)
За более подробной информацией обращайтесь, пожалуйста, к специалистам компании Евроинтех.