Современные решения для производства электроники

Premtek RTP-781SA - установка для проведения быстрых термических процессов

Premtek RTP-781SA

Установка RTP-781SA – это печь для проведения быстрых термических процессов с пластинами и подложками диаметром до 200 мм. Используется для термообработки и  отжига материалов из кремния, германия, арсенида галия, фосфида индия, силицидов, нитридов титана,  поликремния  и др. Одновременный нагрев с двух сторон с помощью ИК галогеновых ламп позволяет достичь высокой температурной однородности внутри печи.

Модель RTP-781SA  имеет имеет кварцевую камеру с внутренними теплыми стенками, водяное охлаждение, оснащена монитором для многозонного контроля ламп в режиме реального времени с обратной связью, сенсорным экраном, механической блокировкой двери, двумя газовыми линиями, множественными блокировками безопасности и сигналами оповещения оператора. Загрузка/выгрузка пластин осуществляется вручную.

Технические характеристики:

Диаметр пластин

До 200 мм (2”, 3”, 4”, 6”, 8” )

Количество обрабатываемых пластин за один цикл

16 шт. диаметром 2”; 4 шт. диаметром 4”;

1 шт. диаметром 8”

Диапазон рабочих температур

200 – 1250 °С,

встроенная термопара К-типа (0 – 800 °С)

Скорость нагрева

≤ 50 °С/сек

Точность поддержания температуры

Для температур ниже 500 °С: ± 5 °С;

Для температур выше 500 °С: ± 1%

Температурная повторяемость

± 2 °С

Нагревательные лампы

33  галогеновые ламп по 2 кВт

Количество газовых линий

2 шт. (стандартно)

 

 

Опции

Пирометр  (800 – 1250 °С); 2 дополнительные газовые линии (в сумме до 4−х)

Питание

380 В, 50 Гц, 3 ф., 125 А

Требуемые подключения

Сжатый воздух: 4 – 6 бар; 120–150 л/мин

Вода: 18 – 25 °С; 3−5 бар; 20 л/мин

Азот: линия 1: 3−5 бар;  100 л/мин (макс.)

           линия 2: 3 бар; 10 л/мин (макс.)

Вытяжка: > 300 л/мин

Габариты (ШхГхВ)

800х1300х1900 мм

Вес

330 кг

 

Применение:

Область

применения

Продукт

Процесс

Среда

Последующее использование

LED

Синий/зеленый светодиод

Эпитаксия

Атм

Освещение, подсветка

 

 

Отжиг ITO- распыление магнетроном

Атм

 

 

 

Отжиг ITO- ЭЛИ

Вакуум

 

 

УФ-светодиод

Эпитаксия

Атм

УФ-отверждение

 

 

Контактный отжиг

Вакуум

 

Лазерные устройства

GaAs, InP лазерные диоды

Эпитаксия

Атм

Оптоволоконная связь

 

 

Отжиг

Атм

 

Пластина с кристаллами

Отожженная пластина

Снижение концентрации ННЗ

атм

пластина

 

 

Формирование геттера

Атм

 

Силовая электроника

Si, Si-Ge приборы

Пост имплантационный отжиг

Атм

BGT, MOSFET, Тиристоры, PN-диоды, PIN-диоды, HBT, HEMT, IGBT,GTO

Отжиг, силицидизация

вакуум

SiC приборы

Пост имплантационный отжиг

Атм

 

P-контакт

вакуум

 

N-контакт

вакуум

GaN приборы GaN/Si, GaN/SiC, GaN/GaN

Пост имплантационный отжиг

Атм

 

P-контакт

Вакуум

 

N-контакт

Вакуум

GaAs, InP приборы

Отжиг, силицидизация

Атм

Тонкопленочные резисторы

TCR

Отжиг пленок

Вак

Силовая электроника

Окисление

Si окисление

Окисление

Газ

ИС

 

Компания Premtek производит печи для проведения быстрых термических процессов

все продукты

Дополнительные материалы
keyboard_arrow_leftВсе продукты раздела Быстрые термические процессы (RTP)