Плазменная обработка поверхности подложек и прочность сварных соединений

Борисова Ю.М., [email protected]

Статья, основанная на результатах исследований, рассматривает эффективность применения технологии атмосферной плазмы перед операцией ультразвуковой микросварки золотой проволокой на золотых подложках. Автор дает ответ на вопрос, насколько предварительная обработка подложек атмосферной плазмой влияет на качество сварочных соединений.

Вступление

Микросварка проволочных перемычек — это один из наиболее критичных процессов производства ИС. Качество поверхности контактной площадки значительно влияет на прочность сварочного соединения, что, в свою очередь, воздействует нанадежность всей ИС.

Оксидный слой на поверхности контактной площадки — один из факторов, от которого зависит качество получаемых сварных соединений. Так, толстый оксидный слой приводит к снижению прочности соединений или даже отсутствию электропроводности.

Другой немаловажный фактор, влияющий на надежность проволочных перемычек,— наличие органических загрязнителей и атмосферных слоев на контактной поверхности подложки.

Полную весию статьи читайте в PDF формате.