ORBIS ALPHA AURIX - установка осаждения органических пленок из газовой фазы

Установка Orbis Alpha AURIX предназначена для осаждения самособирающихся органических пленок (SAM, Self Assembled Monolayers). Типичной областью применения является производство МЭМС (снижения трения и в подвижных частях, предотвращение залипания), микрофлюидных систем (предотвращения адсорбции органических молекул в каналах), а также улучшение адгезии полимеров на поверхности полупроводниковых материалов и другие применения. Установка состоит из базовой платформы Orbis Alpha и модуля AURIX.

Orbis Alpha является лабораторной платформой, предназначенной для использования в исследовательских разработках. Платформа обеспечивает доступ к технологии производства МЭМС при минимальных затратах. Загрузка изделий происходит вручную. Модуль AURIX предназначен для осаждения SAM.

Основные особенности и преимущества:

• Точный контроль параметров процесса
• Экономичное решение для исследовательских разработок
• Управление с помощью ПК и сенсорного экрана
• Удобный и интуитивно понятный интерфейс

Технические характеристики:

Размер пластин и подложек:	до 200 мм
Загрузка	1 пластина/цикл
Нагрев образцов	До 200°С
Нагрев стенок камеры	пассивный
Удалённый источник плазмы	13,56 МГц
Газовые линии	Линии прекурсоров -2 шт. Линия инертного газа – 1 шт.
Управление	ПК под управлением ОС Windows, сенсорный экран